Miscellaneous special-purpose machinery (№2790877)

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Publication date

Description

1. Section I
   1. Name and addresses
      Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
      Hansastr. 27c
      München
      80686
      Germany
      Telephone: +49 1205-7270
      E-mail: [email protected]
      
   2. Type of the contracting authority:
      Other type: Forschungsgesellschaft e. V.
      
   3. Main activity:
      Other activity: Forschung & Entwicklung
      
2. Section II
   1. Scope of the procurement:
      1. Title:
         

         Nasschemische Reinigungs- und Ätzbank für dicke und gedünnte SiC-Wafer.

         
         Reference number: E_079_230247 grg-ort FMD
         
      2. Main CPV code:
         42990000
         
      3. Type of contract:
         Supplies
         
      4. Short description:
         

         Nasschemische Reinigungs- und Ätzbank für dicke und gedünnte SiC-Wafer

         Zur Herstellung von Leistungsbauelemente auf SiC Wafer ist nach fast jedem Fertigungsprozessschritt eine nasschemische Reinigung nötig. Dies geschieht normalerweise in Reinigungsbänken, in denen bis zu 25 Wafer gleichzeitig gereinigt werden können. Nach bestimmten Fertigungsprozessschritten ist es aber besser eine Einzelscheibenreinigung durchzuführen. Dazu wird folgende Anlage benötigt: Einzelwaferanlage für SiC-Scheiben mit 100 und 150 mm (aufrüstbar auf 200 mm) und für 9" quadratische Substrate zur nasschemischen Reinigung; Chemieversorgung (TMAH und H2SO4) durch Drucktanks, Manuelle Befüllung, CO2 Bubbler, Vorwärmung H2SO4 auf 70°C, Vorwärmung DI-Wasser auf 70°C, automatische Spüllung und Neutralisation der Reinigungskammer, einfacher Chuck-Tausch, Reinraumkompatibilität, Computergesteuert, CE-Kennzeichnung.

         
         
      5. Information about lots:
         This contract is divided into lots: no
      6. Total value of the procurement:
         Value excluding VAT: 0.01 EUR
   2. Description
      1. Title:
         
      2. Additional CPV code(s):
         
         
      3. Place of performance:
         Main site or place of performance:

         91058 Erlangen.

         
         
      4. Description of the procurement:
         

         Nasschemische Reinigungs- und Ätzbank für dicke und gedünnte SiC-Wafer

         Zur Herstellung von Leistungsbauelemente auf SiC Wafer ist nach fast jedem Fertigungsprozessschritt eine nasschemische Reinigung nötig. Dies geschieht normalerweise in Reinigungsbänken, in denen bis zu 25 Wafer gleichzeitig gereinigt werden können. Nach bestimmten Fertigungsprozessschritten ist es aber besser eine Einzelscheibenreinigung durchzuführen. Dazu wird folgende Anlage benötigt: Einzelwaferanlage für SiC-Scheiben mit 100 und 150 mm (aufrüstbar auf 200 mm) und für 9" quadratische Substrate zur nasschemischen Reinigung; Chemieversorgung (TMAH und H2SO4) durch Drucktanks, Manuelle Befüllung, CO2 Bubbler, Vorwärmung H2SO4 auf 70°C, Vorwärmung DI-Wasser auf 70°C, automatische Spüllung und Neutralisation der Reinigungskammer, einfacher Chuck-Tausch, Reinraumkompatibilität, Computergesteuert, CE-Kennzeichnung.

         
         
      5. Award criteria:
         Quality criterion - Name: Lieferzeit / Weighting: 15
         Quality criterion - Name: Technische Ausführung / Weighting: 50
         Price - Weighting: 35
         
      6. Information about options:
         Options: no
      7. Information about European Union funds:
         The procurement is related to a project and/or programme financed by European Union funds: no
      8. Additional information:
         
3. Section IV
   1. Description:
      1. Type of procedure:
         Open procedureJustification:

         Vorinformation E_079_229505 grg-Ahö FMD.

         
         
      2. Information about a framework agreement or a dynamic purchasing system:
         
      3. Information about electronic auction:
         
      4. Information about the Government Procurement Agreement (GPA):
         The procurement is covered by the Government Procurement Agreement: yes
   2. Administrative information:
      1. Previous publication concerning this procedure:
         Notice number in the OJ S: 2017/S 129-263268
         
      2. Information about termination of dynamic purchasing system:
         
      3. Information about termination of call for competition in the form of a prior information notice:
         
4. Section V
   1. Title:

      Nasschemische Reinigungs- und Ätzbank für dicke und gedünnte SiC-Wafer

      
      
   2. Award of contract
      1. Date of conclusion of the contract: 2017-08-30
         
      2. Information about tenders:
         Number of tenders received: 3
         The contract has been awarded to a group of economic operators: no
      3. Name and address of the contractor:
         Süss MicroTec Lithography GmbH
         Schleissheimer Str. 90
         Garching b. München
         85748
         Germany
         The contractor is an SME: no
      4. Information on value of the contract/lot (excluding VAT):
         
         Total value of the contract/lot: 0.01 EUR
         
      5. Information about subcontracting:
         
         
5. Section VI
   1. Additional information
      

      — Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt. Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen auch die anderen Bewerber noch rechtzeitig erreichen, müssen die Rückfragen oder Hinweise bis spätestens 14.7.2017 eingehen. Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses.

      
      
   2. Procedures for review
      1. Review body
         Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
         Villemomblerstraße 76
         Bonn
         53123
         Germany
         
      2. Body responsible for mediation procedures
         Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
         Heinemannstr. 2
         Bonn
         53175
         Germany
         
      3. Service from which information about the review procedure may be obtained
         

         Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI.4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1) genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden soll, werden vor dem Zuschlag gem. §134 GWB informiert.

         
         Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
         Hansastraße 27c
         München
         80686
         Germany
         E-mail: [email protected]
         
   3. Date of dispatch of this notice
      2017-09-06